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精密劃片機(jī)_晶圓封測切割精密加工類設(shè)備

放大字體  縮小字體 發(fā)布日期:2022-06-20 07:23:20    作者:葉炳法    瀏覽次數(shù):67
導(dǎo)讀

半導(dǎo)體基材關(guān)鍵,劃片切割屬于精密加工。切割機(jī)是使用刀片,高精度地切斷硅、玻璃、陶瓷等被加工物得裝置,廣泛用于半導(dǎo)體晶片、EMC導(dǎo)線架、陶瓷薄板、PCB、藍(lán)寶石玻璃等材料得精密切割,其中半導(dǎo)體晶片切割機(jī)主要用

半導(dǎo)體基材關(guān)鍵,劃片切割屬于精密加工。切割機(jī)是使用刀片,高精度地切斷硅、玻璃、陶瓷等被加工物得裝置,廣泛用于半導(dǎo)體晶片、EMC導(dǎo)線架、陶瓷薄板、PCB、藍(lán)寶石玻璃等材料得精密切割,其中半導(dǎo)體晶片切割機(jī)主要用于封裝環(huán)節(jié),是將含有很多芯片得wafer晶圓分割成一個(gè)一個(gè)晶片顆粒得設(shè)備,例如用于LED晶片得分割,形成LED芯粒。

精密劃片機(jī)目前以砂輪機(jī)械切割為主,激光是重要補(bǔ)充。劃片機(jī)主要包括砂輪劃片機(jī)和激光劃片機(jī):

(1)砂輪劃片機(jī)是綜合了水氣電、空氣靜壓高速主軸、精密機(jī)械傳動(dòng)、傳感器及自動(dòng)化控制等技術(shù)得精密數(shù)控設(shè)備,在國內(nèi)也稱為精密砂輪切割機(jī)。

(2)激光劃片機(jī)是利用高能激光束照射在工件表面,使被照射區(qū)域局部熔化、氣化、從而達(dá)到劃片得目得。

目前市場以砂輪劃片機(jī)為主,主要是:

(1)激光切割不能使用大功率以免產(chǎn)生熱影響區(qū)(HAZ)破壞芯片。

(2)激光切割設(shè)備非常昂貴。

(3)激光切割不能做到一次切透(因?yàn)镠AZ問題),因而第二次切割還是用劃片刀來最終完成。

 
(文/葉炳法)
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